盡量采用截面直徑較小的O形圈，在密封槽設計時，選用兩法蘭能壓緊在一起使暴露在真空側橡膠面積最小的結構設計，相當于就是控制與被密封件的間隙。

O形圈的壓縮量一般為其截面直徑的30%，槽寬至少是O形圈截面直徑的1.4倍，O形圈的內徑應略小于密封槽的內徑，裝配后可使橡膠圈緊貼在密封槽內，O形圈向外有足夠的橫向變形空間，兩個法蘭平面緊壓在一起可將O形圈全部壓入密封槽內而不會從槽中擠壓出來。

為便于加工，密封槽底面角可加工成半徑等于O形圈截面直徑1/5圓角，密封面的粗糙度至少要達到1.6μm(最好為0.8μm)，槽的外部邊沿倒角0.13mm，并需修整光潔避免裝配時劃傷O形圈。

降低橡膠密封圈的溫度或采用中間抽氣的雙道密封圈，能有效地降低橡膠的出氣速率和漏氣率。
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